استعادة ثاني أكسيد الكربون لصناعة أشباه الموصلات
يُستخدم ثاني أكسيد الكربون في نطاق متزايد من عمليات تصنيع أشباه الموصلات والتنقية الدقيقة. ووفقًا للتطبيق، قد يُستخدم ثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية في النقش الجاف، وترسيب الكربون، وتنقية وتجفيف الرقائق بثاني أكسيد الكربون الفائق الحرج، وتنقية بثلج ثاني أكسيد الكربون، وتنقية المكونات الدقيقة.
عند هذه مستويات النقاء، لا تعتمد جودة المنتج الإجمالية على تركيز ثاني أكسيد الكربون فحسب، بل أيضًا على التحكم في الرطوبة والأكسجين والهيدروكربونات والجسيمات وغيرها من الملوثات الأثرية.
تقوم شركة YTC بتصميم نظام الاستعادة والتنقية بناءً على مصدر الغاز الخاص بالعميل، ومتطلبات العملية، والنقاء المطلوب، وظروف المنشأة.
من غاز العمليات إلى ثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية
يدمج نظام YTC استعادة ثاني أكسيد الكربون مع مراحل تنقية متعددة لتحويل غاز العمليات المحتوي على ثاني أكسيد الكربون إلى ثاني أكسيد الكربون عالي النقاء من الدرجة الإلكترونية.
1. جمع غاز ثاني أكسيد الكربون
يُجمع غاز العمليات المحتوي على ثاني أكسيد الكربون من مصدر العمليات المحدد وينقل إلى نظام الاستعادة في ظل ظروف تشغيل خاضعة للتحكم.
2. المعالجة المسبقة للغاز
تتم معالجة الغاز الوارد مسبقًا لإزالة الجسيمات والرطوبة والهباء الجوي وغيرها من الملوثات التي قد تؤثر على معدات التنقية اللاحقة.
3. ضغط ثاني أكسيد الكربون
يُضغط غاز ثاني أكسيد الكربون المعالج مسبقًا إلى ظروف التشغيل المطلوبة، مما يوفر شروط تغذية مستقرة لمراحل التنقية والتسييل اللاحقة.
4. التنقية المتقدمة
يُختار مجموعة من تقنيات التنقية وفقًا لملف الشوائب الفعلي. يستطيع النظام استهداف الملوثات الحرجة بما في ذلك الرطوبة والأكسجين والهيدروكربونات وغيرها من الشوائب الأثرية.
5. التجفيف والتنقية الدقيقة
تعمل عمليات الامتزاز المتقدمة والتنقية الدقيقة على خفض الملوثات المتبقية بشكل أكبر لتلبية مواصفات الدرجة الإلكترونية المطلوبة.
6. تسييل ثاني أكسيد الكربون
يُبرد ثاني أكسيد الكربون المنقى ويُسيّل من خلال نظام تبريد وتسييل متكامل. يوفر التسييل مرحلة فصل إضافية للمكونات غير القابلة للتكثيف.
7. التنقية النهائية ومراقبة الجودة
يمكن دمج مراحل تنقية إضافية عند الحاجة لتحقيق مواصفات المنتج الخاصة بالعميل. تساعد المراقبة المستمرة عبر الإنترنت على التحقق من جودة ثاني أكسيد الكربون المستقرة أثناء التشغيل.
8. تخزين وتوريد ثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية
يُخزن ثاني أكسيد الكربون السائل المنقى في ظل ظروف خاضعة للتحكم ويُورّد إلى منشأة أشباه الموصلات وفقًا لطلب الإنتاج ومتطلبات العمليات.
التحكم في الشوائب الحرجة
بالنسبة لثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية، يُعد التحكم في الشوائب الأثرية بنفس أهمية تحقيق نقاء عالي لثاني أكسيد الكربون.
يمكن هندسة أنظمة YTC للتحكم في:
• الرطوبة (H₂O)
• الأكسجين (O₂)
• الهيدروكربونات الكلية (THC)
• الجسيمات
• ملوثات أثرية أخرى خاصة بالعمليات
تُحدد الحدود النهائية للشوائب وفقًا لمواصفات عمليات العميل والمعايير المعمول بها.
لماذا استعادة ثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية في الموقع؟
تحسين أمان التوريد
يمكن للاستعادة في الموقع تقليل الاعتماد على الموردين الخارجيين لثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية والنقل لمسافات طويلة، مما يساعد منشآت أشباه الموصلات على الحفاظ على توريد ثاني أكسيد الكربون أكثر أمانًا واستقرارًا.
تقليل مخاطر التلوث
يمكن لاستعادة وتنقية ثاني أكسيد الكربون في الموقع تقليل عدد خطوات النقل والتحويل والمناولة المرتبطة بالغاز عالي النقاء المورد من الخارج.
دعم أهداف الاستدامة
يمكن لاستعادة وإعادة استخدام ثاني أكسيد الكربون الذي كان سيُصرف بخلاف ذلك تقليل الحاجة إلى ثاني أكسيد الكربون المنتج والمُنقل حديثًا، مع دعم أهداف الاستدامة وإدارة الكربون في المصانع.
تحسين الكفاءة التكلفية
يمكن أن يؤدي تقليل الاستهلاك الخارجي لثاني أكسيد الكربون إلى خفض التكلفة طويلة الأمد لتوريد ثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية. تعتمد اقتصاديات المشروع على سعة المصنع، واستهلاك ثاني أكسيد الكربون، وظروف التشغيل، وأسعار الغاز المحلية.
ضمان جودة متسقة
تساعد التحكم الآلي المتكامل والتنقية والمراقبة المستمرة عبر الإنترنت على الحفاظ على جودة ثاني أكسيد الكربون المستقرة والقابلة للتتبع طوال فترة التشغيل.
مُصمم لبيئات المصانع المتطلبة
نقاء فائق العالية
نقاء ثاني أكسيد الكربون يصل إلى 99.9999٪ (6N)، مع التحكم في الشوائب الحرجة وفقًا للمواصفات المطلوبة من العميل.
مراقبة مستمرة عبر الإنترنت
يوفر التحكم الآلي القائم على وحدة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة ومراقبة النقاء عبر الإنترنت إشرافًا مستمرًا على المعايير الرئيسية للتشغيل وجودة المنتج.
التكامل المخصص مع المنشأة
يُهندس النظام بناءً على طلب المصنع من ثاني أكسيد الكربون، وظروف العمليات، والمرافق المتاحة، ومصدر الغاز، والبنية التحتية القائمة لتوريد الغاز.
سعة قابلة للتوسيع
يمكن تخصيص النظام لمتطلبات الإنتاج المختلفة، بدءًا من التطبيقات التجريبية والبحثية الأصغر وحتى منشآت تصنيع أشباه الموصلات واسعة النطاق.
تشغيل مستمر موثوق
تم تصميم أنظمة التحكم في العمليات والتنقية والمراقبة المتكاملة للتشغيل المستقر والموثوق في البيئات الصناعية المتطلبة.
تطبيقات ثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية
وفقًا لمواصفات المنتج المطلوبة، يمكن لثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية المستعاد دعم التطبيقات بما في ذلك:
• النقش الجاف لأشباه الموصلات
• ترسيب الكربون
• تنقية وتجفيف الرقائق بثاني أكسيد الكربون الفائق الحرج
• التنقية بثلج ثاني أكسيد الكربون والتنقية الدقيقة
• تنقية المكونات البصرية والدقيقة
• عمليات تصنيع أشباه الموصلات والإلكترونيات المتقدمة الأخرى
حل YTC لثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية
تجمع YTC بين أكثر من 16 عامًا من الخبرة في استعادة وتنقية ثاني أكسيد الكربون مع الهندسة العملية المتقدمة لتقديم حلول مخصصة لثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية للتطبيقات الصناعية المتطلبة.
من استعادة الغاز والمعالجة المسبقة إلى التنقية فائقة النقاء، والتسييل، والتخزين، والمراقبة عبر الإنترنت، توفر YTC حلًا متكاملًا مُصممًا حسب متطلبات عمليات العميل.
مع إنجاز أكثر من 200 مشروع لثاني أكسيد الكربون في جميع أنحاء العالم، تقدم YTC الهندسة، وتصنيع المعدات، والتركيب، والتشغيل التجريبي، والدعم الفني للمشاريع عبر الأسواق وظروف التشغيل المختلفة.
يركز نهجنا على هدف واحد: استعادة ثاني أكسيد الكربون بكفاءة، والتحكم الدقيق في الشوائب الحرجة، وتوفير توريد مستقر لثاني أكسيد الكربون من الدرجة الإلكترونية للتصنيع المتقدم.
