Recuperación de CO₂ para la industria de semiconductores
El CO₂ se utiliza en una gama creciente de procesos de fabricación de semiconductores y limpieza de precisión. Según la aplicación, el CO₂ de grado electrónico puede emplearse para grabado seco, deposición de carbono, limpieza y secado de obleas con CO₂ supercrítico, limpieza con nieve de CO₂ y limpieza de componentes de precisión.
A estos niveles de pureza, la calidad general del producto depende no solo de la concentración de CO₂, sino también del control de humedad, oxígeno, hidrocarburos, partículas y otros contaminantes traza.
YTC diseña el sistema de recuperación y purificación adaptado a la fuente de gas específica del cliente, los requisitos del proceso, la pureza exigida y las condiciones de las instalaciones.
De gas de proceso a CO₂ de grado electrónico
El sistema YTC integra la recuperación de CO₂ con múltiples etapas de purificación para transformar el gas de proceso que contiene CO₂ en CO₂ de grado electrónico de alta pureza.
1. Recolección de gas CO₂
El gas de proceso con contenido de CO₂ se recolecta desde la fuente de proceso designada y se transfiere al sistema de recuperación bajo condiciones operativas controladas.
2. Pretratamiento del gas
El gas entrante se pretrata para eliminar partículas, humedad, aerosoles y otros contaminantes que podrían afectar los equipos de purificación posteriores.
3. Compresión de CO₂
El gas de CO₂ pretratado se comprime hasta alcanzar las condiciones operativas requeridas, garantizando unas condiciones de alimentación estables para las etapas posteriores de purificación y licuefacción.
4. Purificación avanzada
Se selecciona una combinación de tecnologías de purificación según el perfil real de impurezas. El sistema puede actuar sobre contaminantes críticos, incluidos humedad, oxígeno, hidrocarburos y otras impurezas traza.
5. Secado y purificación fina
Los procesos avanzados de adsorción y purificación fina reducen aún más los contaminantes residuales hasta cumplir con las especificaciones exigidas para el grado electrónico.
6. Licuefacción de CO₂
El CO₂ purificado se enfría y se licúa mediante un sistema integrado de refrigeración y licuefacción. La licuefacción constituye una etapa adicional de separación de componentes no condensables.
7. Purificación final y control de calidad
Se pueden incorporar etapas adicionales de purificación cuando sea necesario para cumplir las especificaciones de producto particulares del cliente. La monitorización continua en línea ayuda a verificar la calidad estable del CO₂ durante el funcionamiento.
8. Almacenamiento y suministro de CO₂ de grado electrónico
El CO₂ líquido purificado se almacena en condiciones controladas y se suministra a las instalaciones de semiconductores según la demanda de producción y los requisitos del proceso.
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Control de impurezas críticas
Para el CO₂ de grado electrónico, controlar las impurezas traza es tan importante como alcanzar una alta pureza de CO₂.
Los sistemas YTC pueden diseñarse para controlar:
• Humedad (H₂O)
• Oxígeno (O₂)
• Hidrocarburos totales (THC)
• Partículas
• Otros contaminantes traza específicos del proceso
Los límites finales de impurezas se definen según las especificaciones de proceso del cliente y las normativas aplicables.
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¿Por qué recuperar CO₂ de grado electrónico en las instalaciones?
Mejorar la seguridad del suministro
La recuperación in situ reduce la dependencia de proveedores externos de CO₂ de grado electrónico y del transporte de larga distancia, ayudando a las plantas de semiconductores a mantener un suministro de CO₂ más seguro y estable.
Reducir el riesgo de contaminación
La recuperación y purificación de CO₂ en las propias instalaciones disminuye el número de etapas de transporte, transferencia y manipulación asociadas al gas de alta pureza suministrado externamente.
Apoyar los objetivos de sostenibilidad
Recuperar y reutilizar el CO₂ que de otro modo se liberaría reduce la necesidad de producir y transportar CO₂ nuevo, al mismo tiempo que contribuye a los objetivos de sostenibilidad y gestión del carbono de la planta de fabricación.
Optimizar la eficiencia de costos
La reducción del consumo externo de CO₂ puede disminuir los costos a largo plazo del suministro de CO₂ de grado electrónico. La viabilidad económica del proyecto depende de la capacidad de la planta, el consumo de CO₂, las condiciones operativas y los precios locales del gas.
Garantizar una calidad constante
La purificación integrada, el control automático y la monitorización continua en línea ayudan a mantener una calidad de CO₂ estable y trazable durante todo el funcionamiento.
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Diseñado para entornos exigentes de plantas de fabricación
Alta pureza extrema
Pureza de CO₂ de hasta 99,9999 % (6N), con impurezas críticas controladas según las especificaciones solicitadas por el cliente.
Monitorización continua en línea
El control automático basado en PLC y la monitorización de pureza en línea permiten la supervisión constante de los parámetros clave de operación y calidad del producto.
Integración personalizada en instalaciones
El sistema se diseña adaptándose a la demanda de CO₂ de la planta, las condiciones de proceso, los servicios disponibles, la fuente de gas y la infraestructura de suministro de gas existente.
Capacidad escalable
El sistema se puede personalizar para distintos requisitos de producción, desde aplicaciones piloto y de investigación y desarrollo de menor tamaño hasta grandes instalaciones de fabricación de semiconductores.
Funcionamiento continuo fiable
Los sistemas integrados de control de proceso, purificación y monitorización están concebidos para ofrecer un funcionamiento estable y fiable en entornos industriales exigentes.
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Aplicaciones del CO₂ de grado electrónico
Según las especificaciones de producto requeridas, el CO₂ de grado electrónico recuperado puede utilizarse en aplicaciones como:
• Grabado seco de semiconductores
• Deposición de carbono
• Limpieza y secado de obleas con CO₂ supercrítico
• Limpieza con nieve de CO₂ y limpieza de precisión
• Limpieza de componentes ópticos y de precisión
• Otros procesos avanzados de fabricación de semiconductores y electrónica
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Solución de CO₂ de grado electrónico de YTC
YTC combina más de 16 años de experiencia en recuperación y purificación de CO₂ con ingeniería de procesos avanzada para ofrecer soluciones personalizadas de CO₂ de grado electrónico para aplicaciones industriales exigentes.
Desde la recuperación y pretratamiento del gas hasta la purificación de alta pureza extrema, licuefacción, almacenamiento y monitorización en línea, YTC proporciona una solución integrada adaptada a los requisitos de proceso del cliente.
Con más de 200 proyectos de CO₂ finalizados en todo el mundo, YTC ofrece ingeniería, fabricación de equipos, instalación, puesta en marcha y soporte técnico para proyectos en distintos mercados y entornos operativos.
Nuestra labor se centra en un único objetivo: recuperar el CO₂ de forma eficiente, controlar con precisión las impurezas críticas y garantizar un suministro estable de CO₂ de grado electrónico para la fabricación avanzada.
