# Récupération du CO₂ pour l’industrie des semi‑conducteurs

Le CO₂ est utilisé dans un éventail croissant de procédés de fabrication de semi‑conducteurs et de nettoyage de précision. Selon l’application, du CO₂ de qualité électronique peut être employé pour la gravure sèche, le dépôt de carbone, le nettoyage et le séchage de plaquettes au CO₂ supercritique, le nettoyage par jet de neige de CO₂ ainsi que le nettoyage de composants de précision.

À ces niveaux de pureté, la qualité globale du produit dépend non seulement de la concentration du CO₂, mais aussi de la maîtrise de l’humidité, de l’oxygène, des hydrocarbures, des particules et d’autres contaminants à l’état de traces.

YTC conçoit le système de récupération et de purification en fonction de la source de gaz spécifique du client, des exigences du procédé, de la pureté requise et des conditions des installations.

## Du gaz de procédé au CO₂ de qualité électronique

Le système YTC associe la récupération du CO₂ à plusieurs étapes de purification afin de transformer le gaz de procédé contenant du CO₂ en CO₂ de haute pureté de qualité électronique.

### 1. Collecte du gaz CO₂

Le gaz de procédé chargé en CO₂ est collecté à partir de la source de procédé désignée et acheminé vers le système de récupération dans des conditions de fonctionnement maîtrisées.

### 2. Prétraitement du gaz

Le gaz entrant subit un prétraitement pour éliminer les particules, l’humidité, les aérosols et autres contaminants susceptibles d’endommager les équipements de purification en aval.

### 3. Compression du CO₂

Le gaz de CO₂ prétraité est comprimé jusqu’aux conditions de fonctionnement requises, assurant des conditions d’alimentation stables pour les étapes suivantes de purification et de liquéfaction.

### 4. Purification avancée

Différentes technologies de purification sont sélectionnées selon le profil réel des impuretés. Le système permet de traiter les contaminants critiques, notamment l’humidité, l’oxygène, les hydrocarbures et d’autres impuretés à l’état de traces.

### 5. Séchage et purification fine

Des procédés avancés d’adsorption et de purification fine abaissent davantage les contaminants résiduels pour atteindre les spécifications requises pour le grade électronique.

### 6. Liquéfaction du CO₂

Le CO₂ purifié est refroidi et liquéfié au moyen d’un système intégré de réfrigération et de liquéfaction. La liquéfaction constitue une étape de séparation supplémentaire pour les composants non condensables.

### 7. Purification finale et contrôle qualité

Des étapes de purification complémentaires peuvent être intégrées si nécessaire pour satisfaire les spécifications produit propres au client. Une surveillance continue en ligne permet de vérifier la stabilité de la qualité du CO₂ pendant le fonctionnement.

### 8. Stockage et distribution du CO₂ de qualité électronique

Le CO₂ liquide purifié est stocké dans des conditions contrôlées et fourni à l’installation de semi‑conducteurs selon les besoins de production et les exigences du procédé.

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## Maîtrise des impuretés critiques

Pour le CO₂ de qualité électronique, maîtriser les impuretés à l’état de traces est tout aussi important que d’atteindre une pureté élevée du CO₂.

Les systèmes YTC peuvent être dimensionnés pour maîtriser :

- L’humidité (H₂O)

- L’oxygène (O₂)

- Les hydrocarbures totaux (THC)

- Les particules

- D’autres contaminants à l’état de traces spécifiques au procédé

Les limites finales d’impuretés sont définies conformément aux spécifications de procédé du client et aux normes applicables.

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## Pourquoi récupérer du CO₂ de qualité électronique sur site ?

### Renforcer la sécurité de l’approvisionnement

La récupération sur site réduit la dépendance vis‑à‑vis des fournisseurs externes de CO₂ de qualité électronique et des transports longue distance, ce qui aide les installations de semi‑conducteurs à disposer d’un approvisionnement en CO₂ plus sûr et stable.

### Réduire le risque de contamination

Récupérer et purifier le CO₂ sur site diminue le nombre d’étapes de transport, de transfert et de manipulation liées au gaz de haute pureté approvisionné de l’extérieur.

### Répondre aux objectifs de durabilité

La récupération et la réutilisation du CO₂ qui serait sinon rejeté réduit les besoins en CO₂ nouvellement produit et transporté, tout en soutenant les objectifs de durabilité et de gestion carbone des usines de fabrication.

### Améliorer la rentabilité

La diminution de la consommation externe de CO₂ permet d’abaisser le coût à long terme de l’approvisionnement en CO₂ de qualité électronique. La rentabilité du projet dépend de la capacité de l’usine, de la consommation de CO₂, des conditions d’exploitation et des prix locaux du gaz.

### Garantir une qualité constante

La purification intégrée, le contrôle automatique et la surveillance continue en ligne permettent de conserver une qualité du CO₂ stable et traçable tout au long du fonctionnement.

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## Conçu pour les environnements exigeants des usines de fabrication

### Très haute pureté

Pureté du CO₂ pouvant atteindre 99,9999 % (6N), les impuretés critiques sont maîtrisées conformément aux spécifications demandées par le client.

### Surveillance continue en ligne

Le contrôle automatique basé sur automate programmable industriel (API) et la surveillance de pureté en ligne assurent un suivi permanent des paramètres clés de fonctionnement et de qualité du produit.

### Intégration personnalisée aux installations

Le système est dimensionné en fonction des besoins en CO₂ de l’usine, des conditions de procédé, des utilités disponibles, de la source de gaz et de l’infrastructure existante de distribution de gaz.

### Capacité modulable

Le système peut être adapté à différents besoins de production, depuis les petites applications pilotes et de recherche‑développement jusqu’aux grandes installations de fabrication de semi‑conducteurs.

### Fonctionnement continu fiable

Les systèmes intégrés de contrôle de procédé, de purification et de surveillance sont conçus pour un fonctionnement stable et fiable dans des environnements industriels exigeants.

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## Applications du CO₂ de qualité électronique

Selon les spécifications produit requises, le CO₂ de qualité électronique récupéré peut être utilisé pour :

- La gravure sèche des semi‑conducteurs

- Le dépôt de carbone

- Le nettoyage et le séchage de plaquettes au CO₂ supercritique

- Le nettoyage par jet de neige de CO₂ et le nettoyage de précision

- Le nettoyage de composants optiques et de précision

- D’autres procédés avancés de fabrication de semi‑conducteurs et d’électronique

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## Solution YTC pour le CO₂ de qualité électronique

Forte de plus de 16 ans d’expérience dans la récupération et la purification du CO₂, YTC s’appuie sur une ingénierie de procédé avancée pour proposer des solutions personnalisées de CO₂ de qualité électronique destinées à des applications industrielles exigeantes.

De la récupération et du prétraitement du gaz jusqu’à la purification à très haute pureté, la liquéfaction, le stockage et la surveillance en ligne, YTC fournit une solution intégrée adaptée aux exigences de procédé du client.

Avec plus de 200 projets de CO₂ réalisés dans le monde entier, YTC assure l’ingénierie, la fabrication des équipements, l’installation, la mise en service et le support technique pour des projets sur divers marchés et dans différents environnements d’exploitation.

Notre action répond à un seul objectif : récupérer le CO₂ de manière efficace, maîtriser précisément les impuretés critiques et garantir un approvisionnement stable en CO₂ de qualité électronique pour la fabrication avancée.